مقدمة أساسية من استشعار ضغط MEMS
جهاز استشعار ضغط MEMS هو عنصر رقيق من الأفلام التي تشوه عندما تتعرض للضغط. ويمكن استخدام مقياس الإجهاد (الاستشعار بتيزوري) لقياس هذا التشوه، أو يمكن قياسه بالسعوية عن طريق الاستشعار عن تغير المسافة بين السطحين. هذه الطريقتين هي شعبية جدا، ونظام مراقبة ضغط الإطارات يستخدم طريقة أكثر قوة piezoresistive.