المبادئ الأساسية لمسح المجهر الإلكتروني
وتتركز الشعاع الإلكتروني المنبعث من المجهر الإلكتروني المسح الضوئي مدفع إلكتروني وتكثيفها في مصدر ضوء نقطة; مصدر ضوء النقطة يشكل شعاع الإلكترون عالي الطاقة تحت الجهد المتسارع; وتتركز شعاع الإلكترون عالي الطاقة في بقعة ضوء مع قطر صغير من خلال اثنين من العدسات الكهرومغناطيسية، ويمر من خلال آخر واحد بعد عدسة كهرومغناطيسية مع لفائف المسح الضوئي، شعاع الإلكترون يقصف سطح العينة نقطة بنقطة بطريقة المسح مثل النقطية، وفي الوقت نفسه يثير إشارات إلكترونية من أعماق مختلفة.