خصائص الترسيب الكيميائي للبخار

خصائص الترسيب الكيميائي للبخار

1) هناك العديد من أنواع الرواسب: يمكن ترسيب الأغشية المعدنية والأغشية غير المعدنية ، ويمكن أيضًا تحضير الأغشية المصنوعة من سبائك متعددة المكونات حسب الحاجة ، بالإضافة إلى طبقات السيراميك أو المركب.

2) يتم تنفيذ تفاعل CVD عند الضغط العادي أو الفراغ المنخفض ، ويكون للطلاء خاصية انكسارية جيدة. يمكنها أن تثبت بشكل موحد الثقوب العميقة والثقوب الدقيقة للسطح بأشكال معقدة أو قطعة عمل.

3) يمكن الحصول على طلاءات غشاء رقيقة بنقاوة عالية ، وضغط جيد ، وإجهاد منخفض متبقي ، وتبلور جيد. نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على فيلم مع التصاق جيد ، وهو أمر مهم جدًا لأغشية تعزيز السطح مثل تخميل السطح ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل.

4) نظرًا لأن درجة حرارة نمو الغشاء الرقيق أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم ، يمكن الحصول على طبقة غشاء ذات نقاوة عالية وتبلور كامل ، وهو أمر ضروري لبعض طبقات غشاء أشباه الموصلات.

5) من خلال تعديل معلمات الترسيب ، يمكن التحكم بشكل فعال في التركيب الكيميائي والتشكيل والبنية البلورية وحجم الحبوب للطلاء.

6) المعدات بسيطة وسهلة التشغيل والصيانة.

7) درجة حرارة التفاعل مرتفعة للغاية ، عادة عند 850 ~ 1100 درجة مئوية.لا يمكن للعديد من مواد الركيزة أن تتحمل درجة حرارة عالية من الأمراض القلبية الوعائية. يمكن لتقنية البلازما أو الليزر المساعدة في تقليل درجة حرارة الترسيب.