تكوين رقاقة هو السيليكون. يتم تكرير السيليكون من رمال الكوارتز. يتم تنقية رقاقة من عنصر السيليكون (99.999٪). ثم يتم إجراء السيليكون النقي في سبائك السيليكون، والتي تصبح أشباه الموصلات الكوارتز لتصنيع الدوائر المتكاملة. المواد، تشريح هو رقاقة المطلوبة خصيصا لإنتاج رقاقة. كلما كانت الرقاقة أرق، كلما انخفضت تكلفة الإنتاج، ولكن كلما ارتفعت متطلبات العملية.
طلاء رقاقة
رقاقة طلاء الفيلم يمكن أن تقاوم الأكسدة ومقاومة درجة الحرارة، ومادته هو نوع من photoresist.
تطوير النقوش الضوئية، النقش
التدفق الأساسي لعملية التصوير الضوئي. الأول هو معطف طبقة من الرداء الضوئي على سطح رقاقة (أو الركيزة) وتجفيفه. يتم نقل رقاقة المجففة إلى آلة الطباعة الحجرية. يمر الضوء من خلال قناع ومشروعات النمط على القناع على جهاز التصوير على سطح الرقاقة لتحقيق التعرض وتحفيز التفاعلات الكيميائية الضوئية. يتم إجراء الخبز الثاني على رقاقة المكشوفة، وهو ما يسمى الخبز ما بعد التعرض. ما بعد الخبز هو رد فعل أكثر اكتمالا الضوئية الكيميائية. وأخيرا ، يتم رش المطور على photoresist على سطح رقاقة لتطوير نمط يتعرض. بعد التطوير ، يتم ترك النمط على القناع على المصور الضوئي. يتم طلاء الغراء والخبز والتطوير في كل مطور التجانس ، ويتم التعرض في آلة التصوير الضوئي. يتم تشغيلها المطور الغراء وآلة الطباعة الحجرية عموما على الانترنت، ويتم نقل رقائق بين وحدات وآلات من الروبوتات. يتم إغلاق نظام التعرض والتنمية بالكامل ، ولا تتعرض الرقاقة مباشرة للبيئة المحيطة للحد من تأثير المكونات الضارة في البيئة على التفاعلات الضوئية والكيميائية الضوئية