عملية ترسيب البخار الكيميائي
تنقسم عملية ترسيب البخار الكيميائي إلى ثلاث مراحل مهمة: غاز التفاعل ينتشر على سطح الركيزة ، غازات التفاعل يمتز على سطح الركيزة ، يحدث تفاعل كيميائي على سطح الركيزة لتشكيل رواسب صلبة ، وتنفصل المنتجات الثانوية لمرحلة الغاز عن سطح الركيزة. أكثر تفاعلات ترسب البخار الكيميائي شيوعًا هي: تفاعلات التحلل الحراري ، تفاعلات التوليف الكيميائي ، وتفاعلات النقل الكيميائي. عادة ما يتم ترسيب TiC أو TiN عن طريق إدخال TiCl4 ، H2 ، CH4 وغازات أخرى في غرفة التفاعل عند 850 ~ 1100 ℃ ، وتشكيل طلاء على سطح الركيزة من خلال التفاعل الكيميائي.