التصنيف حسب ترسيب البخار الكيميائي

التصنيف عن طريق ترسيب البخار الكيميائي

هناك العديد من طرق ترسيب البخار الكيميائي ، مثل الضغط الجوي CVD (APCVD) ، CVD الضغط المنخفض (LPCVD) ، CVD مفرغ الضغط (UHVCVD) ، البخار الكيميائي بالليزر (LCVD) ، ترسيب البخار الكيميائي المعدني (MOCVD) ، ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما (PECVD) ، إلخ.